1601L

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  • ◆    流量可覆盖5slm-50slm非腐蚀性气体(相对于N2)

  • ◆    极具性价比

  • ◆    模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色

  • ◆    自动复零功能设置,增加工艺稳定性

  • 规格
  • MC-1600L
  • MC-1601L
  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体2-5000sccm
  • 单气体5-50slm
  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常闭式螺线管
  • Fitting 接头
  • 1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容
  • Seals 密封
  • 橡胶 Viton
  • Response Time 响应时间
  • 到达设定点±2% 所需时间≤2Sec
  • Accuracy 精确性
  • ≤满量程1%
  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±1%
  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.5%
  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi
  • 10 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范围
  • 满量程的5-100%
  • Max Operating Pressure 最高操作压力
  • 50psi
  • Proof Pressure 承受压力
  • 最大值150psi
  • Communication Type 通讯模式
  • 模拟0-5V
  • Input Power
    输入功率
  • +15VDC ±2% at 25mA
    -15VDC ±2% at 180mA
  • Command Signal 控制信号
  • 模拟信号0-5 VDC
  • Output Signal 输出模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC
  • Power Consumption 功耗
  • 3.1W
  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • 316LSS,PTFE
  • Weight 重量
  • 0.9kg