CM-100C

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  • ◆    流量可覆盖5slm-50slm非腐蚀性气体(相对于N2)

  • ◆    极具性价比

  • ◆    模拟通讯控制模式,同类产品中表现出色

  • ◆    自动复零功能设置,增加工艺稳定性

  • 规格
  • CM-100C
  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体2-3000sccm
  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常开式或常闭式 (NC or NO)
  • Fitting 接头
  • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok or 1/8"Swagelok
  • Seals 密封
  • 橡胶 Viton
  • Response Time 响应时间
  • 到达设定点±2% 所需时间≤1Sec
  • Accuracy 精确性
  • ≤满量程1%
  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±0.5%
  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.2%
  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范围
  • 满量程的2-100%
  • Max Operating Pressure 最高操作压力
  • 50psi
  • Proof Pressure 承受压力
  • 最大值150psi
  • Communication Type 通讯模式
  • RS485
  • Input Power
    输入功率
  • +15VDC ±2% at 50mA
    -15VDC ±2% at 150mA
  • Command Signal 控制信号
  • Digital Command 0-100%
  • Output Signal 输出模拟信号
  • Digital Output 0-100%
  • Power Consumption 功耗
  • 3.1W
  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • Aluminum,316LSS,PTFE
  • Weight 重量
  • 0.45kg