DP700

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  • ◆    流量可覆盖2sccm-50slm(相对于N2)

  • ◆    独特阀门设计,可选择常闭或常开的阀门

  • ◆    Profibus及模拟通讯模式设计,可满足大批量MFC集成及单体控制的需要

  • ◆    完全数字化控制及可现场编程,便于客户使用

  • 规格
  • MCDP700
  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 单气体
  • Control Valve Type 阀门类型
  • 常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
  • Fitting 接头
  • 1/4"VCR兼容or 1/4"Swagelok 兼容
  • Seals 密封
  • 橡胶 Viton
  • Response Time
    响应时间
  • 设定值 > 满量程5%时:
    ≤1Sec 达到设定值的±1%
  • Accuracy 精确性
  • 25%-100%:≤±1%S.P 2%-25%:≤±0.25%F.S
  • Linearity 线性度
  • ≤ 满量程的±0.5%
  • Repeatability 重复性
  • ≤ 满量程的±0.2%
  • Differential Pressure 压差
  • 7 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范围
  • 满量程的2-100%
  • Max Operating Pressure 最高操作压力
  • 50psi
  • Proof Pressure 承受压力
  • 最大值150psi
  • Communication Type 通讯模式
  • 模拟0-5V / Profibus
  • Input Power
    输入功率
  • Typical: +24VDC at 150mA
    Work Range: +18VDC at 200mA/+32VDC at 120mA
  • Command Signal控制信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-100%
  • Output Signal 输出模拟信号
  • 模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-100%
  • Power Consumption 功耗
  • Max 4.5W
  • Temperature Range 温度范围
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • 316LSS,316SS,PTFE
  • Weight 重量
  • 0.9kg